對于蒸汽滅菌而言，滅菌溫度是首先要控制的蒸汽參數，因為微生物對熱的耐受力因種類而不同。實際應用中往往通過檢測蒸汽溫度來控制滅菌效果，但是蒸汽溫度和滅菌要求溫度有時會不同，當蒸汽中含有2%以上的冷凝水時，雖然蒸汽的溫度達標，但由于分布在產品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，使得到達產品的實際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是鍋爐攜帶的爐水，其水質可能會污染滅菌產品。

　　空氣等不凝性氣體的存在會對蒸汽的滅菌溫度形成另外的影響，當滅菌柜室內的空氣未排除或未*排除會導致嚴重的滅菌問題。

　　一方面由于空氣是熱的不良導體，空氣的存在會形成冷點，使得附著空氣的產品達不到滅菌溫度。另外一方面，空氣的形成的分壓會導致實際的蒸汽壓力低于滅菌蒸汽壓力要求，從而導致滅菌失敗。

　　蒸汽過熱度是影響蒸汽滅菌的一個重要因素，經常會被忽略，EN285要求滅菌蒸汽過熱度不應超過3℃。過熱蒸汽，其性質相當于干燥的空氣，其本身的傳熱效率低下；另外一方面，過熱蒸汽釋放顯熱而溫度下降沒有達到飽和點時，不會發生冷凝，此時放出的熱量非常小，使得熱量傳輸達不到滅菌要求，此現象在過熱3℃以上時即表現明顯。蒸汽過熱還可導致物品快速老化。過熱蒸汽有時來源于電廠熱網蒸汽，有時過熱蒸汽的產生是由于蒸汽減壓導致的。

　　蒸汽輸送過程中管道污垢和沿途腐蝕銹物會造成二次污染，所以采用瓦特超級潔凈蒸汽過濾器對濕熱滅菌的工業蒸汽進行一定的前處理非常必要。